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FMM的PPI能达到多少?_科技频道_东方资讯
发布日期:2020-05-20 05:37   来源:未知   阅读:

FMM(fine metal mask)精细金属掩模版在AMOLED制程中具有举足轻重的地位。FMM材质一般为Invar合金,具有较为稳定的热膨胀特性。FMM中有很多通孔,对应的正是显示屏中每个像素的位置。每个像素受到TFT的单独驱动(TFT与OLED的阳极进行连接)。像素的大小受PDL(pixel defined layer)的调控。在蒸镀过程中,R/G/B有机小分子从线源出发,通过FMM中的小孔,沉积在基板上。由于FMM本身的厚度及taper蒸镀角的存在,行业中常说的蒸镀阴影shadow就不可避免,为了尽可能的排除此影响,FMM厚度一般在20um以下,taper在45°以下。

FMM的传统制备方法主要是湿法化学蚀刻,然后进行适当的光刻。目前市场上所发布的新款手机ppi多集中在400左右,ppi的高低直接决定着显示画质的细腻程度。想要提高ppi,首先就需要提高FMM的ppi。在传统的制程中,为了克服光刻胶的咬边现象,多采用双边刻蚀的方法,但也带来了开口处达不到线性要求,使得蒸镀shadow和厚度均一性更差。对于目前的FMM制备方法,600ppi是研究者给出的上限数据。

虽然市场上显示产品的ppi宣传在400左右,但由于像素共用算法的存在,实际的硬件ppi并没有这么高。对于ppi进一步的提升以及AR/VR领域的超高ppi要求,湿法刻蚀FMM的方法似乎已经遇到瓶颈。如果想要ppi有质的提升,非激光刻蚀不可。目前已有相关报道证明激光刻蚀制备800ppi的FMM,并成功应用于AR显示。

文章转载至:AMOLED

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